产品详情
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文生真空烤盘炉
功能简介：
在真空高温环境下，调节升温条件、氮气分压、氮氢混合气比例/分压、处理温度等各项制程参数，清除沉积于石墨盘上的各种有机金属化合物
规格型号：
HBM650G；
HBM1000G；
在真空高温环境下，调节升温条件、氮气分压、氮氢混合气比例/分压、处理温度等各项制程参数，清除沉积于石墨盘上的各种有机金属化合物
规格型号：
HBM650G；
HBM1000G；
作业条件：
真空压力: 10-3 TorrDegree
作业温度: 1360°C（最高1400°C）
氮气分压: 0.15~25 Torr
混合气分压: 0.15~25 Torr(氢气混合比:4%~15%)
制程时间: 8~15 小时
每批处理耗能: 小于100 KW/H
