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正恩科技裂片机
对象晶圆及Ring
1. 泛用素材   晶圆
2. 晶圆尺寸    4″,厚度1mm以下
3. 晶粒尺寸    7x9 ~ 40x40 mil
4. Wafer Ring   6″ Flat Ring 
内径φ194mm 外径228mm t=1.0mm

规格型号:
BW300系列;
BW310系列;


性能优势

1、  专利压制机构,控制裂片的品质,降低斜裂及崩角的不良率,有效的提升良率。

2、  专利多种劈裂模式,降低晶粒排挤现象,有效的提升良率。

3、  分区设置不同的劈裂位置(最高能设置8),控制劈裂质量,有效的提升良率。

4、  专利灯源机构,可选的4种可调光源,改善Wafer批次影像差异,成像更稳定、更细腻,有效的增加了系统的稳定性

5、  增加敲击次数的功能,增加裂片的有效性。

6、  针对不同劈裂需求灵活多变的工作模式可选,可设置每刀或任意刀数自动执行角度或 Y 轴调整。

7、  独特的劈刀刀头及劈裂原理,劈裂位置受力更均匀,有效的提升良率。

8、  Z&Y轴采用步进马达及伺服系统,精度更高,成像定位更精准,有效的增强系统的稳定性。

成本优势:

1、  关键零部件选用德国及日本大厂品牌,保证设备的精良品质和稳定性,有效减少停机时间,提高产能。

2、  人性化设计界面,从放片到生产一键化设计,操作简单,节省培训时间,降低成本。

3、  自动化作业模式,一个OP能照看15台以上的机台,有效的节约人力成本。

4、  独特的破片功能设计,可劈裂不完整芯片,减少报废品及降低人力浪费。

5、  专门针对小size的芯片而开发设计的混合劈裂模式,良率更高,劈裂速度更快。

6、  AB面可根据需要选择不同的劈裂模式,有效的提升良率和生产率。

售后及服务优势:

1、  客制化能力强,可依客户需求作机台功能的量身修改。

2、  售后服务及时、售后服务工程师众多,售后保障有力。

3、  服务及维护时间较即时,耗材费用合理。

4、  交机时间短,设备可及时到厂扩大产能。

 

脚注信息
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